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도쿄 일렉트론

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목차

1. 개요

도쿄 일렉트론은 1963년 설립된 일본의 반도체 제조 장비 회사이다. 초기에는 라디오를 생산하다가 1965년부터 집적 회로 관련 제품을 취급하기 시작했다. 현재는 반도체 및 평판 디스플레이 제조 장비를 개발, 생산하며, 특히 코터/디벨로퍼 시장에서 높은 점유율을 차지하고 있다. 2023년에는 아시아 최대 반도체 장비 제조업체로 중국에서 매출의 43%를 창출했으며, 2024년 초에는 직원 초봉을 인상했다. 도쿄 일렉트론은 일본, 대한민국, 미국 등 18개국에 지사를 두고 있으며, 사회 공헌 활동으로 일본 축구를 후원하고 있다.

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도쿄 일렉트론 - [회사]에 관한 문서
회사 정보
회사명도쿄 일렉트론 주식회사
원어명東京エレクトロン株式会社
로마자 표기Tōkyō Erekutoron Kabushiki-gaisha
이전 회사명도쿄 일렉트론 연구소 (1963–1978)
도쿄 일렉트론 로고
도쿄 일렉트론 로고
아카사카 Biz 타워
아카사카 Biz 타워
종류주식회사
티커, 닛케이 225 구성 종목, TOPIX Core 30 구성 종목
설립일1963년 11월 11일 (도쿄 일렉트론 연구소)
창립자구보 도쿠오, 고다카 도시오, 도쿄 방송 주식회사
본사 위치아카사카 Biz 타워, 5-3-1 아카사카, 미나토구, 도쿄도 107-6325
서비스 지역일본, 타이완, 북미, 대한민국, 유럽, 동남아시아, 중국
주요 인물누노카와 요시카즈 (회장), 가와이 도시키 (사장 & CEO)
산업 분야전자 제품, 반도체
제품네트워킹 장비, 전자 부품, 집적 회로, 평판 디스플레이, 태양 전지 생산 장비
매출액¥1.13조 (2020)
영업 이익¥2372.9억 (2020)
순이익¥1852.1억 (2020)
자산¥1.28조 (2020)
자기 자본¥8296.9억 (2020)
모회사TBS 홀딩스 주식회사 (4.67%)
직원 수12,742명 (2020)
자회사26개의 그룹 회사, 도쿄 일렉트론 디바이스 () 포함
웹사이트도쿄 일렉트론 공식 웹사이트
그룹 회사
주요 자회사도쿄 일렉트론 디바이스 () 외 25개사

2. 역사

도쿄 일렉트론은 1963년 11월 도쿄 방송(TBS)의 계열사로 설립되어 초기에는 라디오를 생산했다. 1965년부터 집적 회로 관련 제품을 취급하기 시작했다.

1978년 10월 주식회사 도쿄 일렉트론 연구소에서 '''도쿄 일렉트론'''으로 사명을 변경했다. 1980년 도쿄증권거래소 제2부에 상장되었고, 1984년에는 제1부로 승격되었다. 1983년 미국의 램 리서치와 합병회사(テル・ラム）를 설립했다.

1990년 FPD(Flat Panel Display) 사업을 시작하며 액정 디스플레이(LCD) 제조 장치 분야에 본격적으로 진출했다. 1999년 10월, 도쿄 증권 거래소 제1부 업종이 "상업"에서 "전기 기기"로 변경되었다.

2012년 스위스의 Oerlikon Solar사를 매수했다. 2013년 미국의 어플라이드 머티어리얼즈 사와 합병하여 에테리스(Eteris)라는 법인을 출범하려 하였으나, 2015년 미국 법무부의 승인을 얻지 못해 무산되었다.[53]

반도체 제조 장치 분야에서 미국의 어플라이드 머티어리얼즈, 램 리서치, 네덜란드의 ASML과 경쟁하고 있다. 특히 도쿄 일렉트론이 개발한 코터/데벨로퍼는 전 세계에서 90% (EUV 노광용은 거의 100%)의 점유율을 가지고 있어, 세계 반도체 동향에 큰 영향을 미치고 있다.[52] 2022년에는 라피더스와 TSMC의 구마모토 공장 건설로 인해 다시 주목을 받았다.[51]

반도체뿐만 아니라, 평판 디스플레이 분야에서도 잉크젯 프린팅 기술을 보유하며 유명세를 떨치고 있다. 업계나 주식 시장에서는 TEL, 동(東)일렉이라고 불리기도 한다.

2. 1. 설립 초기 (1963년 ~ 1979년)

1963년 11월, 쿠보 토쿠오와 코다카 토시오가 도쿄 방송 시스템(TBS)의 자금으로 500만엔 이상을 출자하여 도쿄 일렉트론 연구소(Tokyo Electron Laboratories Incorporated)를 설립했다. 같은 해 TBS 본관에 사무실을 열고 품질 관리 장비 수천 개를 제조, Thermco사의 확산로 수입, 일본산 자동차 라디오 판매를 시작했다.[6]

1965년, 페어차일드 반도체사(Fairchild Semiconductor Corporation)의 판매 대리점으로 합의, 자본금을 2000만엔으로 증액했다. IC 테스터, IC 소켓, IC 커넥터 등 컴퓨터 부품을 수출했다.[6]

1968년 2월, 미국 썸코사 합작 회사 테르 썸코(후의 도쿄 일렉트론 도호쿠)를 설립했다.[6] 같은 해 캘리포니아주 샌프란시스코에 사무실과 팬 일렉트론(Pan Electron) 지점을 설립, 수입 전자 부품 유통을 시작했다.[6] 1969년 요코하마에 사무실을 열고 자동차 스테레오 제조 및 유통업체 텔트론(Teltron)을 설립, 본사를 TBS-2 건물로 확장, 자본금을 1억엔으로 증액했다.[6]

1976년 6월, 테르 썸코는 세계 최초 고압 산화 장치를 개발했다.

1978년 10월, 주식회사 도쿄 일렉트론 연구소에서 '''도쿄 일렉트론'''으로 사명을 변경했다.

2. 2. 성장기 (1980년 ~ 1999년)

도쿄 일렉트론은 1980년 도쿄 증권 거래소 제2부에 상장되었고, 1984년에 제1부로 승격되었다.[8] 1981년에는 미국 젠라드 Inc.와 합작 투자 회사인 텔-젠라드(Tel-Genrad Ltd.)를 설립하여 인쇄 회로 기판 테스트 시스템을 제조하기 시작했다.[7] 1983년에는 미국 램 리서치와 합병 회사(テル・ラム）를 설립했다.

1990년에는 액정 디스플레이(LCD) 제조 장치(FPD 제조 장치) 사업을 시작했다.[10] 같은 해, 다이닛폰 스크린 및 미국 회사 실리콘 밸리 그룹과 함께 반도체 제조 장비 최대 생산업체로 경쟁했다.[9] 1991년, SEMATECH 컨소시엄으로부터 미국에 신기술을 숨기고 있다는 비판을 받은 5개 일본 회사 중 하나로 지목되기도 했다.[11]

1990년대 초, 미국 경쟁사인 어플라이드 머티리얼즈는 시장 점유율을 잃고 미국 정부에 지원을 요청하기도 했다.[12] 1995년 5월, 도쿄 일렉트론은 일본 최대 반도체 제조 장비 공급 업체였다.[53] 1999년 10월, 도쿄 증권 거래소 제1부 업종이 "상업"에서 "전기 기기"로 변경되었다.

2. 3. 글로벌 확장기 (2000년 ~ 현재)

2001년, TEL은 측정 소프트웨어 기술을 개발한 캘리포니아주 프리몬트의 팀버 테크놀로지스(Timbre Technologies Inc.)를 인수했다.[13] 2004년에는 플라즈마 식각 챔버 제품의 개선을 발표했다.[14] 2005년, 도쿄 일렉트론은 어플라이드 머티어리얼즈에 이어 두 번째로 큰 칩 제조 장비 제조업체였으며, ASML보다 앞섰다.[15] 2006년에는 뉴욕 올버니 대학교(SUNY) 나노기술 복합 단지에 연구 센터를 운영했다.[16] 같은 해, 캘리포니아에 TEL 벤처 캐피탈(TEL Venture Capital)이라는 벤처 캐피탈 부서를 설립했다.[17]

2011년 기준으로, TEL은 IC 및 FPD 생산 장비의 최대 제조업체였다.[3] 2013년 9월 24일, 도쿄 일렉트론과 어플라이드 머티어리얼즈는 합병을 발표하고[18] 에테리스(Eteris)라는 신규 회사를 설립할 예정이었다.[19][20] 에테리스는 총 시장 가치가 약 290억달러로 반도체 처리 장비 분야에서 세계 최대 공급업체가 될 예정이었다. 그러나 2015년 4월 26일, 이 100억달러 규모의 합병은 미국의 반독점 우려로 인해 취소되었다.[21]

2015년 10월 TEL의 마크를 변경하였다. 2018년 10월, 2012년 5월에 취득한 미국 현지 법인 TEL NEXX, Inc.의 모든 주식을 매각하였다.[54] 2019년7월 10일 미국 BRIDG와의 제휴를 발표하였다.[55]

2023년 6월, 도쿄 일렉트론은 포브스 글로벌 2000에서 세계 최대 기업 중 하나로 선정되었으며,[22] 이 시점에 약 12,742명의 직원을 고용하고 있었다.[23] 2023년 말, 아시아 최대 반도체 장비 제조업체로, 중국에서 매출의 43%를 창출하고 있었다.[24] 2023년 10월,[25] 회사는 첨단 3D 낸드 플래시 메모리를 개선하는 신기술을 개발하여[26] 램 리서치의 유일한 경쟁자가 되었다고 발표했다.[25]

2024년 초, 회사는 인재 확보와 외국 기업의 임금 경쟁을 위해 직원들의 초봉을 40% 인상할 것이라고 밝혔다.[27] 2024년 2월, 도쿄 일렉트론의 시가총액은 1146억달러로 마감되어 소니 그룹을 제치고 일본에서 시가총액 기준 세 번째로 가치 있는 기업이 되었다. 또한 전 세계 반도체 관련 기업 중 시가총액 기준 12위를 기록했다.[26] 닛케이 225에 계속 상장되어 있다.[28] 2024년에는 카와이 토시키가 사장 겸 CEO를, 누노카와 요시카즈가 이사회 의장을 맡았다.[29]

3. 사업 내용

도쿄 일렉트론은 B2B 기업으로 일반인에게는 잘 알려져 있지 않지만, 반도체 장비 업계에서는 미국의 어플라이드 머티어리얼즈, 램 리서치, 네덜란드의 ASML과 함께 세계 4대 기업으로 불린다. 특히 코터/디벨로퍼 시장에서 전 세계 91%의 점유율을 자랑한다. 매출의 대부분은 해외에서 발생하며, 주요 거래처는 삼성전자, 인텔, TSMC 등이다. 이러한 배경 때문에 한국의 주력 사업인 반도체 산업을 뒷받침하는 데도 큰 역할을 한다.

2022년에는 소니와 토요타 등 대기업 8개사가 출자하여 설립한 라피더스와 TSMC의 구마모토 공장 건설 건으로 인해 다시 주목받았다. 일본이 반도체 국산화를 추진하면서 앞으로는 국내 매출이 늘어날 것이라는 전망도 있다.[51]

세계 반도체 동향에 큰 영향을 미치는 기업이기에, 미국의 조 바이든 행정부는 일본, 네덜란드, 미국의 반도체 동맹의 중요성을 강조하고 있다. 네덜란드의 ASML과 일본의 도쿄 일렉트론은 미국의 조 바이든 행정부로부터 대중(對中) 규제에 대한 협조를 강요받고 있다.[52]

업계나 주식 시장에서는 TEL, 동(東)일렉이라고 불리는 경우가 많다.

3. 1. 반도체 제조 장비

B2B 기업이라 일반인들에겐 잘 알려져 있지 않지만, 반도체 장비 업계에선 미국의 어플라이드 머티어리얼즈, 램 리서치, 네덜란드의 ASML과 함께 세계 4대 기업으로 불린다. 특히, 어플라이드 머티어리얼즈와 비슷하게 많은 공정에서 점유율 1, 2위를 차지하고 있어 이 회사의 장비를 거치지 않은 반도체는 없다. 이 회사가 망하면 반도체를 못 만든다는 얘기다.[3]

반도체 소자 제조에서 집적 회로(IC), 평판 디스플레이(FPD) 및 태양 전지(PV) 제조 장비를 공급하며,[3] 2024년 ''Barron's''에 따르면, 도쿄 일렉트론 주식회사(Tokyo Electron Ltd.)는 "반도체 생산 장비 및 평판 디스플레이 제조 장비용 산업용 전자 제품의 개발, 제조 및 판매"에 종사하고 있다. 반도체 생산 장비(SPE), 평판 디스플레이(FPD) 생산 장비 및 기타의 세 가지 부문으로 나뉜다. 2023년에는 회사의 FPD 사업이 수익에서 "사소"해진 반면, SPE 부문은 꾸준히 성장하고 있다고 보고되었다.[31] TEL의 SPE 부문은 코터/디벨로퍼, 플라즈마 식각 시스템, 열처리 시스템, 단일 웨이퍼 증착 시스템, 세척 시스템 및 웨이퍼 프로버와 같은 SPE를 개발하고 판매한다. FPD 부문은 평판 디스플레이용 SPE에 중점을 둔다.[30]

반도체 제조 장치는 일본이 강점을 가진 분야 중 하나이며, 세계 각지에서 일본산 기계가 사용되고 있다. 특히, 도쿄 일렉트론(TEL)이 개발한 코터/데벨로퍼는 전 세계에서 90%(EUV 노광용은 거의 100%)의 점유율을 가지고 있다.[52]

반도체뿐만 아니라, 평판 디스플레이 분야에서도 유명한 회사이다. 차세대 OLED 양산 방식인 잉크젯 프린팅 기술을 보유하고 있다. 업계나 주식 시장 등에서는 TEL, 동(東)일렉이라고 불리는 경우가 많다.

도쿄 일렉트론은 다음과 같은 반도체 제조 장비를 생산한다.

  • 코터/디벨로퍼 - 반도체 제조 시 포토리소그래피 공정에서 감광제를 도포하고 현상하는 장치.
  • 식각 장치
  • * 플라즈마 식각 장치
  • * 가스 케미컬 식각 장치
  • 증착 장치
  • * 열처리 증착 장치 - 트랜지스터의 절연막을 만들기 위한 제조 장치. 반도체 제조에서 트랜지스터의 성능 향상을 위해 짧은 시간 안에 고온에서의 열처리가 필요하다.
  • * ALD 장치
  • * CVD 장치
  • * PVD 장치
  • * 팹 증착 장치
  • * 수직 확산/LP-CVD/ALD 장치
  • * SiC 에피택셜 증착 장치
  • 세정 장치 - 반도체 제조 과정에서 먼지, 불순물 등을 세정하기 위한 장치.
  • * 팹 세정 장치
  • * 오토 웨트 스테이션
  • * 배치 스프레이식 세정 장치
  • * 극저온 에어로졸 팹 세정 장치
  • * 스크러버 세정 장치
  • 테스트 장치
  • * 웨이퍼 프로버
  • * 멀티셀 테스트 시스템
  • 웨이퍼 본딩/디본딩 장치
  • 웨이퍼 에지 트리밍 장치
  • 가스 클러스터 이온 빔 장치

3. 2. FPD 제조 장비

반도체 소자 제조에서 집적 회로(IC) 외에 평판 디스플레이(FPD) 제조 장치도 개발하고 있지만, 2023년 FPD 사업은 수익에서 "사소"해졌다.[31] FPD 부문은 평판 디스플레이용 SPE에 중점을 둔다.[30] 반도체뿐만 아니라, 평판 디스플레이 분야에서도 유명하며 차세대 OLED 양산 방식인 잉크젯 프린팅 기술을 보유하고 있다. FPD 에칭/애싱 장치도 제조한다.

4. 한국과의 관계

도쿄 일렉트론은 B2B 기업이라 일반인에게는 잘 알려져 있지 않지만, 반도체 장비 업계에서는 미국의 어플라이드 머티어리얼즈, 램 리서치, 네덜란드의 ASML과 함께 세계 4대 기업으로 불린다. 특히, 어플라이드 머티어리얼즈와 비슷하게 많은 공정에서 점유율 1, 2위를 차지하고 있어 이 회사의 장비를 거치지 않은 반도체는 없다. 이 회사가 망하면 반도체를 만들 수 없다는 이야기가 나올 정도이다. 매출의 대부분이 해외 매출이기 때문에 해외 의존도가 상당하다. 주로 한국의 삼성전자, 미국의 인텔, 대만의 TSMC 등과 거래하고 있다. 이러한 배경 때문에 한국의 주력 사업인 반도체 산업을 뒷받침하는 데도 큰 역할을 하고 있다.[51]

반도체 제조 장치는 일본이 강점을 가진 분야 중 하나이며, 세계 각지에서 일본산 기계가 사용되고 있다. 특히, 도쿄 일렉트론(TEL)이 개발한 코터/데벨로퍼는 전 세계에서 90%(EUV 노광용은 거의 100%)의 점유율을 가지고 있다. 이처럼 세계 반도체 동향에 상당히 큰 영향을 미치는 회사이기에, 미국의 조 바이든 행정부는 일본, 네덜란드, 미국의 반도체 동맹의 중요성을 강조하고 있다. 네덜란드의 ASML과 일본의 도쿄 일렉트론은 미국의 조 바이든 행정부로부터 대중(對中) 규제에 대한 협조를 강요받고 있다.[52]

5. 글로벌 거점

도쿄 일렉트론의 선도적인 공정 개발 센터는 야마나시현 니라사키시에 있다. 간사이 지방 기술 센터는 효고현 아마가사키시에, 센다이 설계 및 개발 센터는 미야기현 센다이시에 있다.[2] 미국의 연구 개발 센터는 뉴욕주 올버니에 있는 TEL 테크놀로지 센터 아메리카(TEL Technology Center, America, LLC)이다. 도쿄 일렉트론은 벨기에 루벤에 위치한 마이크로 전자 공학 및 나노 전자 공학 연구 센터인 IMEC의 파트너 중 하나이다.[2]

2014년 7월, 도쿄 일렉트론은 싱가포르의 마이크로 전자 공학 연구소와 공동 조립 연구소 설립을 발표했다. 이 연구소는 고성능 및 저전력 소비 장치를 갖춘 사물 인터넷의 필요성을 충족하기 위해 웨이퍼 레벨 패키징 및 조립 연구 개발에 집중한다.[44]

2023년, CEO 카와이 토시키(Toshiki Kawai)의 지휘 하에 텍사스주 오스틴 남동부에 위치한 미국 본사를 매각했다.[45] 2024년에는 오스틴에 새로운 미국 본사를 임대했다.[46] 2025년에는 도쿄 일렉트론의 제조 자회사인 도쿄 일렉트론 테크놀로지 솔루션(Tokyo Electron Technology Solutions)이 일본 이와테현 오슈시에 1.7억달러 규모의 반도체 장비 공장을 건설할 예정이다.[47]

5. 1. 일본 국내 거점



도쿄 일렉트론 테크놀로지 솔루션즈 사업소명위치
호사카 사업소야마나시현니라사키시
도호쿠 사업소이와테현오슈시
후추 사업소도쿄도후추시
나고야 위성 사업소아이치현나고야시



도쿄 일렉트론 큐슈 사업소명위치
고시 사업소구마모토현고시시
오쓰 사업소구마모토현 기쿠치군오쓰마치


5. 2. 해외 거점

일본 외에도 대한민국, 미국, 대만 등 18개국에 27지사, 77거점을 두고 있다.[2][43]

영국 크롤리에 위치한 TEL 유럽 본사


회사명역할기타
도쿄 일렉트론 U.S. 홀딩스, Inc.미국 총괄 거점
도쿄 일렉트론 아메리카, Inc.미국에서의 판매 및 지원
TEL 테크놀로지 센터, 아메리카, LLC.반도체 제조 장비의 연구 및 개발
TEL 벤처 캐피탈, Inc.
TEL 에피온 Inc.가스 클러스터 이온 빔(GCIB) 기술을 사용한 산업용 제조 장비의 개발 및 제조
TEL FSI, Inc.표면 처리 장치의 개발, 제조 및 판매
도쿄 일렉트론 유럽 유한회사전 유럽 총괄 거점(잉글랜드 크롤리)
독일 지사 (도쿄 일렉트론 유럽 유한회사)
이탈리아 지사 (도쿄 일렉트론 유럽 유한회사)
네덜란드 지사 (도쿄 일렉트론 유럽 유한회사)
아일랜드 지사 (도쿄 일렉트론 유럽 유한회사)
프랑스 지사 (도쿄 일렉트론 유럽 유한회사)
TEL Solar Services AG
TEL Magnetic Solutions Limited자기장 처리 열장치 개발, 제조 및 판매
도쿄 일렉트론 이스라엘 유한회사
도쿄 일렉트론 코리아 유한회사대표자 이사회 회장 호리이 요시아키, 대표 이사 사장 원제형
도쿄 일렉트론 타이완 유한회사대표자 이사·총경리 친 야장
도쿄 일렉트론 (상하이) 유한회사대표자 이사·총경리 Jay Chen
도쿄 일렉트론 (상하이) 물류 센터 유한회사대표자 이사·총경리 Jay Chen
도쿄 일렉트론 (쿤산) 유한회사FPD 제조 장치 제조 및 부품 수리, 대표자 이사·총경리 Jay Chen
도쿄 일렉트론 싱가포르 PTE. 유한회사대표자 이토 히데키


6. 사회 공헌

도쿄 일렉트론(TEL)은 일본 축구를 지원하며, J리그 전체와 고후시와 니라사키를 연고로 하는 축구 클럽 방포레 고후, 야마나시현을 후원하고 있다.

이 회사는 두 개의 다목적 홀의 명명권을 획득했다.


  • 東京エレクトロン韮崎文化ホール|도쿄 일렉트론 니라사키 아르스 홀일본어는 니라사키시 소유이다.
  • 東京エレクトロンホール宮城|도쿄 일렉트론 홀 미야기일본어는 미야기현 소유이며, 지진 피해로 인해 폐쇄되었다.


시설명명칭 변경 전소재지계약 기간 및 금액
도쿄 일렉트론 니라사키 문화 홀니라사키시 문화 홀야마나시현니라사키시2006년 4월부터 5년간, 연 600만엔. 2011년 4월부터 5년간, 연 550만엔.
도쿄 일렉트론 홀 미야기미야기현민회관미야기현센다이시2008년 4월 1일부터 5년간, 연 5000만엔. 수 차례 갱신[56][57]을 거쳐 2020년 4월부터는 3년간, 연 3000만엔의 내용으로 계약을 갱신했다[58].



센다이 시내의 도쿄 일렉트론 홀 미야기

참조

[1] 웹사이트 Leadership https://www.tel.com/[...] Tokyo Electron 2022-12-25
[2] 웹사이트 Annual Report 2011 http://www.tel.com/e[...] Tokyo Electron Limited 2011-03-31
[3] 웹사이트 Fact Book 2011 http://www.tel.com/e[...] Tokyo Electron Limited 2011-03-31
[4] 웹사이트 Company Info http://www.tel.com/a[...] Tokyo Electron Limited 2013-04-01
[5] 웹사이트 Tokyo Electron Ltd: TYO:8035 quotes & news - Google Finance https://www.google.c[...]
[6] 웹사이트 Explore Our History http://www.tel.com/e[...] Tokyo Electron Limited null
[7] 뉴스 Briefs https://www.nytimes.[...] 1981-07-22
[8] 뉴스 Market Place; Japan Holdings Bolster Funds https://www.nytimes.[...] 1986-05-22
[9] 뉴스 Low-Tech Company In High-Tech Gamble https://www.nytimes.[...] 1990-02-13
[10] 뉴스 COMPANY NEWS; Japanese Criticized by Chip Makers https://www.nytimes.[...] 1991-05-07
[11] 뉴스 Morgan's Law https://www.forbes.c[...] 2001-02-19
[12] 뉴스 Market Place; For Japanese chip makers, a boom time mixed with caution. https://www.nytimes.[...] 1995-05-03
[13] 뉴스 TEL to acquire Timbre Technologies https://sst.semicond[...] 2001
[14] 뉴스 TEL claims to have improved SCCM plasma etch process https://www.eetimes.[...] 2004-12-13
[15] 뉴스 Profit rises with sales at ASML https://www.nytimes.[...] 2005-01-20
[16] 뉴스 New York Bets on High-Tech to Aid Upstate https://www.nytimes.[...] 2006-10-28
[17] 뉴스 Tokyo Electron Starts Venture Capital Unit https://archive.nyti[...] 2006-05-02
[18] 웹사이트 U.S. Manufacturer of Chip-Making Equipment Buys Japanese Rival https://dealbook.nyt[...] 2013-09-24
[19] 뉴스 WSJ https://online.wsj.c[...] 2014-07-08
[20] 웹사이트 Key Developments https://www.reuters.[...] Reuters.com
[21] 뉴스 UPDATE 3-Applied Materials scraps Tokyo Electron takeover on U.S. antitrust concerns https://www.reuters.[...] 2015-04-27
[22] 뉴스 The Global 2000 https://www.forbes.c[...] 2023-06-08
[23] 웹사이트 Tokyo Electron https://www.forbes.c[...]
[24] 뉴스 Tokyo Electron says China is snapping up its less advanced chip tools amid export controls https://www.ft.com/c[...] 2023-12-15
[25] 뉴스 Tokyo Electron takes aim at NAND etching leader Lam Research https://asia.nikkei.[...] 2023-10-15
[26] 뉴스 Tokyo Electron's market cap surpasses Sony on Nvidia boost https://asia.nikkei.[...] 2024-02-23
[27] 뉴스 Tokyo Electron raises starting pay 40% in race for chip talent https://asia.nikkei.[...] 2024-01-01
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